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一、產(chǎn)品基礎(chǔ)信息

核心優(yōu)勢

1. 大通導(dǎo)設(shè)計(jì)：閥板全開時(shí)流導(dǎo)大，幾乎不降低真空泵抽速，排氣阻力極小。

2. 極低泄漏率：氦檢漏率 ≤ 1.3×10?? Pa?cm3/s，滿足高真空工況密封要求。

3. 閥體堅(jiān)固耐腐蝕：標(biāo)準(zhǔn)閥體 SUS304 不銹鋼；可選 SS400 鍍鎳材質(zhì)。

4. 密封耐用：標(biāo)配氟橡膠密封；也可選用丁腈橡膠 NBR，適配普通真空環(huán)境。

5. 自動(dòng)化配套：電磁閥電壓可自由選型；可選裝閥位開閉反饋開關(guān)；支持防爆耐壓定制款。

6. 法蘭標(biāo)準(zhǔn)：JIS B2290 VG 槽真空法蘭，匹配日系真空管路標(biāo)準(zhǔn)。

二、完整型號矩陣（標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)貨型號）

安裝尺寸（單位 mm）

三、技術(shù)參數(shù)

• 驅(qū)動(dòng)方式：壓縮空氣氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)

• 真空等級：高真空閥，適用于 10?? Pa 級別真空系統(tǒng)

• 法蘭：JIS VG 真空法蘭

• 漏率：靜態(tài)氦檢漏 ≤1.3E-9 Pa?cc/sec

• 閥體材質(zhì)：SUS304（標(biāo)準(zhǔn)）/SS400 鍍鎳（可選）

• 密封件：氟橡膠 FKM（標(biāo)準(zhǔn)）/NBR 丁腈橡膠（可選）

• 可選配置：閥位信號開關(guān)、防爆氣缸、雙作用氣缸、電磁換向閥整套組件

四、行業(yè)應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體真空設(shè)備：濺射機(jī)、蒸鍍機(jī)、晶圓清洗設(shè)備真空管路通斷；SiC 碳化硅鍍膜、刻蝕機(jī)真空隔斷閥。

2. 科研真空腔體：實(shí)驗(yàn)室高真空腔體、電子束設(shè)備、鍍膜機(jī)主路與旁路真空切斷。

3. 熱處理行業(yè)：真空退火爐、釬焊爐、淬火爐真空管道開關(guān)。

4. 鋰電 / 凍干設(shè)備：真空干燥箱、凍干機(jī)、脫泡機(jī)真空管路氣動(dòng)切斷。

5. 真空泵組：油旋片泵、干式真空泵、擴(kuò)散泵前端隔離閥，保護(hù)真空機(jī)組不受腔體返流污染。