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PTFE過濾罐產(chǎn)品參數(shù)
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥/生物制藥,綜合 |
PTFE過濾罐詳細(xì)信息
PTFE過濾罐是光伏、半導(dǎo)體濕法制程及精密化工實(shí)驗(yàn)室專用封閉式循環(huán)過濾凈化設(shè)備，主要替代PP、PVDF、不銹鋼過濾罐體。有效解決傳統(tǒng)罐體不耐HF、酸堿工況易溶脹粉化、金屬罐體釋雜污染藥液、密封結(jié)構(gòu)易滲漏、無法在線循環(huán)凈化的行業(yè)痛點(diǎn)。憑借PTFE強(qiáng)耐腐蝕、超低本底潔凈、密封穩(wěn)定性強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)，可與各類PTFE槽體、工裝配套使用，主打封閉式承壓過濾、藥液循環(huán)再生、在線除雜凈化，是工業(yè)化連續(xù)濕法制程的核心配套凈化耗材。
用于強(qiáng)腐蝕工藝藥液閉環(huán)循環(huán)過濾凈化。半導(dǎo)體蝕刻液、BOE緩沖液、光伏硅片制絨酸堿液、冶金混酸腐蝕藥液在批量生產(chǎn)中可循環(huán)復(fù)用，藥液長(zhǎng)期作業(yè)會(huì)積累硅粉、膠體殘?jiān)?、金屬氧化物等微量雜質(zhì)。開放式過濾易引入外界粉塵污染，普通過濾罐不耐氟系藥液腐蝕，長(zhǎng)期運(yùn)行會(huì)掉屑、滲漏，導(dǎo)致藥液純度持續(xù)下降。PTFE過濾罐全程密閉承壓運(yùn)行，耐腐蝕不溶出，可持續(xù)攔截藥液內(nèi)微細(xì)雜質(zhì)，大幅延長(zhǎng)藥液使用壽命，穩(wěn)定藥液配比精度，降低產(chǎn)線換液成本。
適配產(chǎn)線在線供液與精密工件防護(hù)過濾。晶片制絨、晶圓蝕刻、酸洗漂洗工序?qū)λ幰簼崈舳纫蟾撸?xì)微顆粒極易造成晶片表面劃傷、絨面不均、電路微缺陷。該過濾罐封閉式結(jié)構(gòu)無過濾死角，進(jìn)出液流量穩(wěn)定，可匹配產(chǎn)線泵體聯(lián)動(dòng)實(shí)現(xiàn)在線不間斷過濾，實(shí)時(shí)剔除藥液雜質(zhì)，保證每批次工件接觸的藥液純度一致。罐體內(nèi)部光滑不積垢、不吸附藥液成分，不會(huì)改變藥液酸堿濃度與化學(xué)配比，保障制程工藝高度統(tǒng)一。
滿足高潔凈工況生產(chǎn)與長(zhǎng)期循環(huán)復(fù)用需求。罐體絕緣防靜電、無離子析出，適配百級(jí)無塵車間生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，不會(huì)對(duì)圖形化晶圓、超薄硅片造成靜電損傷與二次污染。一體焊接密封結(jié)構(gòu)抗水壓、耐高低溫交替沖擊，長(zhǎng)期循環(huán)運(yùn)行不開裂、不變形、不滲漏。設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)單，可通過強(qiáng)酸浸泡、超聲清洗快速再生，無殘?jiān)鼩埩?、無交叉污染風(fēng)險(xiǎn)。相較于傳統(tǒng)過濾設(shè)備，使用壽命更長(zhǎng)、凈化效果更穩(wěn)定，有效提升晶片生產(chǎn)良率，大幅降低工業(yè)化濕法產(chǎn)線運(yùn)維與耗材更換成本。
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