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產(chǎn)品簡介
日本古谷金屬 半導體石英熱電偶產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
日本古谷金屬 半導體石英熱電偶詳細信息
日本古谷金屬 半導體石英熱電偶日本古谷金屬 半導體石英熱電偶日本古谷金屬自研半導體專用測溫熱電偶，全流程自產(chǎn)貴金屬線材、高純石英保護管，具備完整閉環(huán)生產(chǎn)鏈路，可回收廢舊熱電偶線材精煉再利用，節(jié)省 PGM 貴金屬原料成本。產(chǎn)品全部在 5000 級潔凈室內(nèi)完成原料存放、組裝與檢測，配套專業(yè)熱電偶校準設備，精準修正熱電勢與標準溫度的誤差，測溫精度穩(wěn)定，符合半導體無塵生產(chǎn)嚴苛要求。
產(chǎn)品分為三類：峰熱電偶采用細徑石英管；高溫爐熱電偶配備 SiC 碳化硅保護套管，耐高溫；L 形石英熱電偶為 90° 彎管結(jié)構(gòu)，適配爐體側(cè)向安裝，三款均適配擴散爐、CVD 薄膜沉積設備實時測溫。
核心性能與優(yōu)勢
全產(chǎn)業(yè)鏈自主加工貴金屬絲與石英套管，貨源供給穩(wěn)定可控；
廢舊熱電偶回收提純貴金屬，減少客戶長期耗材采購成本；
五千級無塵車間完成組裝，無粉塵雜質(zhì)污染，適配晶圓制程；
每支產(chǎn)品經(jīng)專業(yè)校準設備檢測，溫控測量數(shù)據(jù)精準無偏差；
三種外形結(jié)構(gòu)可選，適配直裝、側(cè)裝、小型腔體等各類爐體；
高純石英與 SiC 雙重防護材質(zhì)，耐高溫耐爐內(nèi)腐蝕性氣體，使用壽命更長。
典型應用場景
半導體擴散爐管式爐加熱器溫度閉環(huán)調(diào)控
砂 CVD 薄膜沉積設備高精度爐內(nèi)溫度采集
晶圓熱處理高溫潔凈爐實時溫度監(jiān)測
半導體熱處理設備長期連續(xù)測溫作業(yè)
產(chǎn)品細分規(guī)格說明
表格
| 產(chǎn)品名稱 | 保護管材質(zhì) | 適配設備 | 結(jié)構(gòu)特點 |
|---|---|---|---|
| 峰熱電偶 | 高純石英細管 | 擴散爐 CVD 設備 | 細徑分體引線，體積小巧易安裝 |
| 高溫爐用熱電偶 | SiC 碳化硅保護管 | 高溫擴散爐 | 長直桿耐高溫，集成多端子引線 |
| L 形石英熱電偶 | 高純石英彎管 | 側(cè)向開口管式爐 | 90 度折彎造型，適配爐腔側(cè)面安裝 |
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