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PTFE方槽產(chǎn)品參數(shù)
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥/生物制藥,綜合 |
PTFE方槽詳細信息
PTFE方槽是半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)及精密科研實驗室通用型濕法核心工裝，專為規(guī)整化批量作業(yè)設(shè)計，替代傳統(tǒng)圓形槽、PP、PVDF普通方槽。有效解決常規(guī)塑膠方槽耐腐性差、HF環(huán)境易粉化、高溫易變形、析出雜質(zhì)污染工件的痛點，方正結(jié)構(gòu)可適配硅片架、濾籃、晶圓架等配套工裝對位放置，空間利用率遠超圓形槽體，廣泛用于晶片酸洗、藥液儲存、工件漂洗、實驗消解前處理等高潔凈工況，是濕法產(chǎn)線標準化作業(yè)的耗材。
適配大批量晶片規(guī)整浸泡與酸堿腐蝕作業(yè)。光伏硅片、半導(dǎo)體圖形化晶圓、光學(xué)薄片的制絨、去氧化、除金屬雜質(zhì)工序，需要規(guī)整的槽體空間放置整架工裝。PTFE方槽內(nèi)壁平直、容量規(guī)整，可實現(xiàn)多組硅片架并排擺放，藥液全覆蓋浸泡晶片，規(guī)避圓形槽邊角藥液流通不均、工件擺放受限的問題。材質(zhì)不與各類腐蝕藥液反應(yīng)，長期浸泡不溶脹、不開裂，無碎屑脫落，杜絕晶片二次污染，保障腐蝕、清洗工藝均勻穩(wěn)定。
可作為無塵車間專用儲液槽與超聲清洗槽使用。制程所用HF、緩沖蝕刻液、酸堿混合清洗液，需專用潔凈槽體儲存，普通槽體易析出雜質(zhì)污染藥液，影響制程精度。PTFE方槽超低金屬本底，不吸附藥液雜質(zhì)、不釋放有害物質(zhì)，可長期儲存各類腐蝕試劑。一體無縫焊接結(jié)構(gòu)抗超聲疲勞，可適配高頻超聲波清洗工況，長期震蕩不滲漏、不變形，高效清除晶片表面納米粉塵、藥液結(jié)晶殘留。
滿足多級純水漂洗與循環(huán)復(fù)用作業(yè)需求。槽體平整沒有死角，漂洗時殘液可排空，無藥液淤積風(fēng)干結(jié)晶，有效避免晶片表面水印、腐蝕斑點缺陷。耐高低溫交替工況，可適配高溫藥液浸泡、常溫純水漂洗、低溫靜置存放等多場景作業(yè)。可反復(fù)酸洗、超聲清洗再生復(fù)用，抗老化耐腐蝕，使用壽命遠超普通塑膠方槽，適配百級無塵車間標準，有效穩(wěn)定晶片制程良率，降低產(chǎn)線與實驗室耗材更換成本。
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移動站：PTFE方槽
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