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公眾號(hào)：chem17
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| ¥187500 |
| ≥1件 |
TOHO
代理商
山金
40
廣東深圳市
2026/6/10 18:27:55
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 板材尺寸 | 3-8英寸 | 壓力范圍 | 1-4000MPa *1 |
| 測(cè)量重復(fù)性 | ±1.3MPa *2 | 加熱功能 | 是的（最高可達(dá)500度） |
TOHO-TEC東朋 TohoSpec3100 薄膜厚度測(cè)量?jī)x
TOHO-TEC東朋 TohoSpec3100 薄膜厚度測(cè)量?jī)x
TohoSpec3100是什么？
光線經(jīng)物鏡垂直入射到樣品上，對(duì)反射光進(jìn)行光譜分析，得到各波長(zhǎng)的反射強(qiáng)度數(shù)據(jù)。然后將反射光譜與已建立的測(cè)量模型的反射光譜進(jìn)行擬合，從而輸出薄膜厚度值。
特點(diǎn) 1：NanoSpec 的 繼任者
在NanoSpec3000系列業(yè)務(wù)從Nanometrics（現(xiàn)為Onto Innovation）轉(zhuǎn)移后，我們于2014年開始生產(chǎn)和銷售TohoSpec3100系列，作為其正式的繼任者。在保持相同測(cè)量性能的同時(shí)，我們對(duì)軟件進(jìn)行了全面升級(jí)，并修改了規(guī)格參數(shù)，以更好地滿足客戶需求。
此外，該系列產(chǎn)品還支持從NanoSpec3000導(dǎo)入配方，使設(shè)備升級(jí)更加便捷。
特性 2：高級(jí)測(cè)量性能
該系統(tǒng)不僅支持測(cè)量單層薄膜，還支持測(cè)量最多三層的多層薄膜。它可同時(shí)測(cè)量光學(xué)常數(shù)（n，k），從而實(shí)現(xiàn)更精確的薄膜厚度測(cè)量。軟件內(nèi)置多種測(cè)量模型，允許用戶創(chuàng)建針對(duì)樣品薄膜質(zhì)量和結(jié)構(gòu)的最佳模型。優(yōu)良的分析功能甚至可以對(duì)折射率相近的薄膜和基底之間的界面進(jìn)行單獨(dú)測(cè)量。測(cè)量通常在一秒內(nèi)完成，可以立即確認(rèn)結(jié)果。
功能 3：小點(diǎn)測(cè)量
標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)配備 5 倍物鏡。另有 10 倍和 50 倍物鏡可選，以滿足您的不同應(yīng)用需求。TohoSpec3100T 型號(hào)還提供 100 倍物鏡，可對(duì)微小區(qū)域進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量光斑尺寸最小可達(dá) 0.75 微米。對(duì)于透明基板上的薄膜厚度測(cè)量，使用高倍物鏡可 減少（或消除）基板背面反射的影響，從而獲得更精確的測(cè)量結(jié)果。
用途/應(yīng)用
1半導(dǎo)體工藝開發(fā)
該裝置可用于在半導(dǎo)體制造過程中測(cè)量晶圓上的薄膜厚度。由于薄膜質(zhì)量會(huì)隨沉積條件而變化，因此針對(duì)每種薄膜質(zhì)量進(jìn)行高精度薄膜厚度測(cè)量是工藝開發(fā)中的關(guān)鍵要素。
2顯示工藝開發(fā)
與半導(dǎo)體工藝類似，顯示器工藝也包含多個(gè)薄膜沉積步驟，因此薄膜厚度的分析和控制至關(guān)重要。與使用硅襯底的半導(dǎo)體工藝不同，顯示器工藝使用透明玻璃襯底，因此必須解決玻璃襯底背面反射的問題。TohoSpec3100T
型號(hào)配備高達(dá) 100 倍放大倍率的物鏡，即使在透明襯底上也能實(shí)現(xiàn)更精確的薄膜厚度測(cè)量。
產(chǎn)品系列及規(guī)格
標(biāo)準(zhǔn)型
模型
TohoSpec3100
板材尺寸
3-8英寸
厚度測(cè)量范圍
10nm ~ 30um *1
物鏡
5倍（Φ50um）
測(cè)量重復(fù)性
±2A 或 ±0.1%，取較大者 *1*2
選項(xiàng)
10倍（Φ25μm）、50倍（Φ5μm）、USB攝像頭
高分辨率模型
模型
TohoSpec3100T
板材尺寸
3-8英寸
厚度測(cè)量范圍
10nm ~ 70um *1
物鏡
5倍（Φ15um）
測(cè)量重復(fù)性
±2A 或 ±0.1%，取較大者 *1*2
選項(xiàng)
50倍（Φ1.5μm）、100倍（Φ0.75μm）、USB攝像頭
*1：因所測(cè)薄膜類型和樣品結(jié)構(gòu)而異。
*2：在同一點(diǎn)進(jìn)行15次測(cè)量。
我司代理及優(yōu)勢(shì)品牌一覽明細(xì)：
代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈
NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森
優(yōu)勢(shì)品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAG代理O高砂、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC
S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計(jì)器
IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機(jī)
SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等
優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品：日本紫外線照度計(jì)、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測(cè)燈
變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、氧氣濃度計(jì)、焊接機(jī)、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機(jī)、電子天平、粘度計(jì)、膜厚計(jì)、恒流泵、采樣泵、PH計(jì)、水分計(jì)、地震測(cè)試儀、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器、氣體檢測(cè)儀、接近開關(guān)、拉拔機(jī)、異音檢測(cè)儀、應(yīng)變測(cè)試儀、拉針儀、水平測(cè)試儀等
關(guān)聯(lián)品牌
東朋集團(tuán)是一家擁有兩百年歷史的日本企業(yè)，在中國、美國等國家都設(shè)有分公司及辦事處。上海東朋科技有限公司為其中一家獨(dú)資子公司，成立18年以來在電子、自控、機(jī)械領(lǐng)域皆有良好業(yè)績(jī)，上海東朋科技有限公司主要著重于電子設(shè)備的設(shè)計(jì)開發(fā)、生產(chǎn)和銷售，控制箱等自動(dòng)化控制系統(tǒng)、裝置的設(shè)計(jì)開發(fā)、生產(chǎn)和銷售；生產(chǎn)指示系統(tǒng)、信息處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)開發(fā)、生產(chǎn)和銷售，半導(dǎo)體制造，檢查裝置，液晶裝置的設(shè)計(jì)開發(fā)和銷售，廠礦用設(shè)備，空調(diào)設(shè)備等的銷售，工程，安裝和售后服務(wù)。
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