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產(chǎn)品名稱：OKO變形鏡MMDM

產(chǎn)品型號：MMDM 15-37

品牌分類：壓電變形鏡

產(chǎn)品介紹：

OKO變形鏡MMDM 15-37是一款直徑為15毫米、由37個執(zhí)行器控制的微機械薄膜變形鏡。

MMDM 15-37采用金屬薄膜作為鏡面材料，通過微機械加工（MEMS）工藝制成。薄膜的邊緣固定在周圍的框架結(jié)構(gòu)上，下方有控制電極陣列。薄膜一般具有多層結(jié)構(gòu)，包括電介質(zhì)層、金屬層、氮化硅層等，厚度一般為0.5~10微米。

當(dāng)在薄膜下方的電極上施加電壓時，電極和薄膜之間產(chǎn)生靜電吸引，導(dǎo)致薄膜發(fā)生形變。通過在不同電極上施加不同電壓（即不同的電壓組合），可以使薄膜產(chǎn)生不同的形變，從而實現(xiàn)對波前的動態(tài)校正。

OKO變形鏡MMDM（微機械薄膜變形鏡）是采用MEMS工藝制造的靜電驅(qū)動連續(xù)鏡面變形鏡，具有體積小、重量輕、功耗低、光學(xué)質(zhì)量高、校正范圍大、響應(yīng)速度快、集成度高等特點，廣泛應(yīng)用于激光光束控制、腔內(nèi)激光控制、實時大氣校正、全息、光通信等領(lǐng)域。

性能特點：

體積小巧輕盈：MMDM 15-37體積小巧，重量僅為140克，便于集成到各種光學(xué)系統(tǒng)中。

功耗極低：由于僅靠靜電吸引產(chǎn)生形變，驅(qū)動電流極小，因此雖然驅(qū)動電壓達(dá)到上百伏，但消耗的電功率較低。實驗中曾測量到40通道的MMDM在工作模式下功耗不超過1W，MMDM 15-37的功耗同樣可忽略不計。

光學(xué)質(zhì)量高：初始面形RMS偏差小于0.45微米（也有說法為小于9納米，在10毫米孔徑內(nèi)），表面非常光滑，散射可以忽略不計。能夠很好地擬合波前畸變曲面，對波前畸變進行校正。

大校正范圍：總波前變形高達(dá)25微米，可以校正幅度高達(dá)3微米的Zernike 3階和5階像差，79通道的MMDM甚至可以糾正所有5階的Zernike像差。

可承載高功率激光：鏡面采用了金屬和金屬介電涂層，可承載功率高達(dá)1kW的高能激光。

零遲滯：MMDM 15-37不存在滯環(huán)（即hysteresis，又稱滯洄、磁滯效應(yīng)），形變重復(fù)性較好。根據(jù)控制電壓和形變之間的定量關(guān)系，可以實現(xiàn)鏡面形變的高精度控制，可用于前饋控制系統(tǒng)（無反饋控制）。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)地：荷蘭

光孔形狀：接近圓形。

光孔尺寸：直徑15毫米。

鍍膜材料：金屬或金屬+電介質(zhì)。

執(zhí)行器數(shù)目：37個。

控制電壓：0~300V。

初始面形RMS偏差：小于0.45微米，也有說法為小于9納米（在10毫米孔徑內(nèi)），表明其初始面形非常平整，光學(xué)質(zhì)量高。

初始波前畸變：1.5個條紋@633nm，說明其初始波前質(zhì)量較好。

反射率：在可見光波段大于89%，部分資料提到反射率可優(yōu)化至更高水平，如99%的1060nm高反膜或550~1000nm（中心波長800nm）反射率98%的超寬帶金屬/電介質(zhì)膜。

表面缺陷：鏡面中心區(qū)域表面缺陷少于2處，確保光束質(zhì)量不受明顯影響。

變形鏡中心max變形量：10微米，可實現(xiàn)較大幅度的波前校正。

總波前變形范圍：高達(dá)25微米，能夠校正幅度較大的波前畸變。

單個執(zhí)行器max形變量：至少達(dá)到1000nm~1300nm，確保每個執(zhí)行器都能有效貢獻形變。

重量：140克，體積小巧輕盈，便于集成。

厚度：薄膜厚度一般為0.5~10微米，具體取決于技術(shù)實現(xiàn)。

功耗：極低，實驗中曾測量到40通道的MMDM在工作模式下功耗不超過1W，MMDM 15-37的功耗同樣可忽略不計。

熱管理：鏡面采用了金屬和金屬介電涂層，可承載功率高達(dá)1kW的高能激光，部分資料提到通過特殊設(shè)計可承受600W連續(xù)激光。

零遲滯：不存在滯環(huán)，形變重復(fù)性較好，可根據(jù)控制電壓和形變之間的定量關(guān)系實現(xiàn)高精度控制。

產(chǎn)品應(yīng)用：

激光系統(tǒng)：MMDM 15-37可用于激光束的動態(tài)波前校正，提高激光束的質(zhì)量和聚焦能力。在激光加工、激光通信等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)：在天文望遠(yuǎn)鏡中，MMDM 15-37可以校正大氣擾動引起的波前畸變，提高成像分辨率和清晰度。

眼科設(shè)備：在眼科自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中，MMDM 15-37可用于校正人眼像差，提高視網(wǎng)膜成像質(zhì)量，為眼科疾病的診斷和治療提供有力支持。

顯示器和成像光學(xué)：MMDM 15-37還可用于顯示器和成像光學(xué)中的低階光學(xué)像差（如散焦、像散、彗差等）的快速動態(tài)校正，提高成像質(zhì)量和顯示效果。