Setra西特 C25G-30CPG-C4-11-B1 壓力傳感器
Setra西特 C25G-30CPG-C4-11-B1 壓力傳感器
Setra C25系列超高純壓力變送器專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高長期穩(wěn)定性的控制應(yīng)用。
C25系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu),用戶可方便地調(diào)節(jié)用于零點(diǎn)和量程微調(diào)的多圈電位計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的外螺紋/內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外,該系列產(chǎn)品還可選多種其他接口類型。C25系列產(chǎn)品提供5VDC、10 VDC或4-20mA三種輸出類型,可使用六英尺多芯電纜及卡口、DSub或M12x1接頭進(jìn)行電氣連接。
Model C25
超高純壓力變送器
特性
·泄露率低
·VCR接頭
易于吹掃的小腔室
.200PSI/250PS/3000PSI
·316LVIM/VAR不銹鋼
表面拋光度7Ra
·1X10°ATM.CC/sec級(jí)別的氮滲漏實(shí)驗(yàn)
·堅(jiān)固耐用, 安裝
4-20mA輸出型獲得不易燃認(rèn)證,適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域
·符合CE標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
·氣柜
C25系列壓力變送器采用Setra 的可變電容技術(shù),配有VIM/VAR316L不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容,當(dāng)氣體壓力升高時(shí),隔膜會(huì)變得略圓,使電容減小,傳感器檢測(cè)到電容變化,并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號(hào)。Setra獨(dú)特的定制集成電路采用 的電荷平衡原理制成,幾乎不受EMI/RFI干擾。
在制造和裝配完成后,Setra超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純氮?dú)獯祾摺⒑娓伞㈦p層包裝、氮?dú)獬渥⒑兔芊獾忍幚恚詈蟛虐l(fā)貨。
注:Setra的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)ANSI-Z540制定的。該產(chǎn)品的標(biāo)定具有NIST可追蹤性,美國 號(hào)。
Vacuum Coupling Radius,金屬面密封,以下簡(jiǎn)稱 VCR。
壓力范圍
0psig.or-14.70 bar or -1 barpsig to:to
耐壓
(psig)
25
50
100
250
500
1000
3000
-14.7~85.3
14.7~235.3
-14.7~985.3
-14.7~ 2985.3
1.7
3.4
7.0
17
35
70
200
50
75
150
350
550
1250
3500
150
350
1250
3500
設(shè)計(jì)壓力破裂壓(psig)
(psig)
180
365
365
600
900
1500
3000
365
500
1500
3000
1500
3000
3000
5000
7500
7500
10,000
3000
5000
7500
10,000
注:Setra質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)基于ANSI-Z540-1。產(chǎn)品的校準(zhǔn)是NIST可追湖的。
耐壓:在不改變性能超過規(guī)范的情況下可施加的最大壓力(士1%FS零位移)。
玻裂壓在不使傳感元件破裂的情況下,施加在正壓端口上的最大壓力。
根據(jù)ASME BPVC.IV-2015 HG-502.3計(jì)算的設(shè)計(jì)壓力
子設(shè)備,壓力介質(zhì)的溫度可更高或更低校準(zhǔn)至5OK歐姆負(fù)載,可操作至5K歐姆負(fù)載或更高在工廠使用24VDC回路電源電壓和250歐姆負(fù)載進(jìn)行校準(zhǔn)
規(guī)格改變可能不再另行通知。
規(guī)格
訂貨號(hào)C25G30CPGC411B1表示C25型壓力變送器,壓力范圍為3000 PSI,表壓,1/4VCR外螺紋,輸出信號(hào)為4-20mA,4針卡口接頭。
物理參數(shù)+0.25%FS殼體不銹鋼±0.15%FS電氣連接參見訂購信息0.20%FS玉力接口參見訂購信息面氣通過外殼~65°C內(nèi)腔體積0.11inVIMVAR316L不銹鋼,電解拋光至8% (%FS/50°C)妾液部件7Ra(最大10Ra)世漏試驗(yàn):使用質(zhì)譜儀進(jìn)行1x10ATM.CC/sec級(jí)別的氦滲約113g漏試驗(yàn)環(huán)境參數(shù)
性能參數(shù)
精度RSS(恒溫下)
非線性(最佳擬合直線)
遲滯
溫度影響
品度補(bǔ)償范圍
零點(diǎn)/滿程漂移
壓力介質(zhì)
與316L不銹鋼兼容的液體或氣體
認(rèn)證
不易燃認(rèn)證:適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域的認(rèn)證:
北美:可選ETL認(rèn)證,符合UL1604(選擇N1選項(xiàng))
工作溫度
儲(chǔ)存溫度
電流輸出型(訂購N1選項(xiàng)時(shí))
40°C~+85°C40°C~+85°C
-30°C~+80°C(工作/儲(chǔ)存溫度)
1.非線性、遲滯、非重復(fù)性的RSS值(方和根)。2.產(chǎn)品在21°C進(jìn)行標(biāo)定,最大溫度影響誤差由此數(shù)據(jù)計(jì)算。
電氣參數(shù)(電壓)
電路輸出“激勵(lì)輸出電阻暖機(jī)漂移功耗
3 線(COM,OUT,EXC)
0~5VDC
010VDC5V FS0(滿量程輸出)時(shí)為10~30VDC10V FSO(滿量程輸出)時(shí)為13~30VDC1000
總誤差±0.1%FS
0.03W
電氣參數(shù)(電流)
電路輸出。外部負(fù)載最小供電電壓VDC最大供電電日(VDC)功耗
2線
1~20mA
-800010+0.02((接收器附加導(dǎo)線電阻)30+0.004x(接收器附加導(dǎo)線電阻)<0.9W
3.僅限電子元件的工作溫度限制,壓力介質(zhì)的溫度可能明顯較高或較低4.采用50KO負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定,可在負(fù)載≥5KQ時(shí)工作。
5.零點(diǎn)(滿量程)輸出:對(duì)于5VDC電源,出廠設(shè)置在±25mV以內(nèi);對(duì)于10VDC電源,出廠設(shè)置在土50mV以內(nèi)。6.出廠標(biāo)定時(shí)采用2500負(fù)載,24VDC電源。
7.零點(diǎn)輸出的出廠設(shè)置在土0.08mA以內(nèi),滿量程輸出的出廠設(shè)置在土0.16mA以內(nèi)。
用戶評(píng)論
發(fā)布評(píng)論