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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
晶圓加熱盤（Wafer Heating Plate），也稱為加熱臺(tái)或加熱器，適用領(lǐng)域：半導(dǎo)體、芯片、OLED光學(xué)變溫、晶圓測(cè)試等。它主要用于在加工晶圓時(shí)，對(duì)晶圓進(jìn)行精確的溫度控制，以確保制造過(guò)程中的穩(wěn)定性和高質(zhì)量，可用于各類探針臺(tái)，溫控同時(shí)進(jìn)行電學(xué)測(cè)試。
產(chǎn)品名稱 | 晶圓三溫系統(tǒng) |
冷熱方式 | 電阻加熱，液氮制冷 |
溫度范圍 | -80~200℃ |
溫度穩(wěn)定性 | ±0.5℃ |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度傳感器 | 熱電偶 |
溫控方式 | PID |
腔室 | 真空/氣密 |
腔體內(nèi)部及管道無(wú)凝結(jié)水、霧 | |
腔體表面常溫 | |
注：所述溫度為陶瓷盤表面溫度 | |
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文天精策儀器科技（蘇州）有限公司是一家專業(yè)從事材料性能表征類的科研儀器開發(fā)、集成、技術(shù)服務(wù)、銷售的高科技企業(yè)，擁有多項(xiàng)技術(shù)和多位專業(yè)人員。我們專注于與溫控相關(guān)的力學(xué)、電學(xué)、光學(xué)測(cè)試技術(shù)，為行業(yè)內(nèi)的客戶提供產(chǎn)品應(yīng)用的整體解決方案。公司具有專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和設(shè)計(jì)加工能力，擁有光學(xué)冷熱臺(tái)、探針冷熱臺(tái)、原位拉伸冷熱臺(tái)、XRD冷熱臺(tái)、SEM冷熱臺(tái)、SEM原位拉伸冷熱臺(tái)、鋰電池原位測(cè)試、鐵電分析儀等多個(gè)主打產(chǎn)品及相關(guān)的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。
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