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一、定位與核心原理（熱式 + 壓力補(bǔ)償，非壓差式）

• 定位：壓力補(bǔ)償型熱式 MFC，集成壓力傳感器 + 熱式流量傳感器 + 壓電閥 + 32 位數(shù)字 CPU，實(shí)現(xiàn)壓力不敏感（PI），省去上游 UR?Z700 穩(wěn)壓閥，簡(jiǎn)化氣路。

• 工作原理

1. 流量檢測(cè)：氣體分流，主路直通，旁路熱毛細(xì)管傳感器測(cè)溫差，輸出熱式質(zhì)量流量信號(hào)；

2. 壓力 / 溫度采集：內(nèi)置絕壓傳感器（入口）+ 溫度傳感器，實(shí)時(shí)測(cè) P、T；

3. 數(shù)字補(bǔ)償：CPU 按三維溫壓標(biāo)定模型實(shí)時(shí)修正熱式信號(hào)，抵消壓力波動(dòng)影響；

4. 閉環(huán)控制：驅(qū)動(dòng)高速壓電陶瓷閥（同 D500/UR?Z700），2ms 刷新，450ms 穩(wěn)定（T98）。

• 核心差異：傳統(tǒng)熱式 MFC 壓力波動(dòng)誤差 ±5%–±10%；Z700S±0.5% 以內(nèi) ，接近 D500 壓差式水平。

二、關(guān)鍵參數(shù)（Z707S 為代表，2025 新款）

• 流量范圍：0.1–500 slm（N?當(dāng)量），多量程軟件切換。

• 精度：

• 5%–100% FS：±1% SP（設(shè)定值）；

• 0.5%–5% FS：±0.05% FS。

• 重復(fù)精度：≤±0.15% SP。

• 動(dòng)態(tài)范圍：0.5%–100% FS（200:1）。

• 響應(yīng)時(shí)間：300ms–1s 可調(diào)（T98），標(biāo)準(zhǔn)450ms±30ms。

• 壓力規(guī)格：入口0.1–1 MPa（絕壓），抗上下游壓力波動(dòng) ±10%，流量誤差 <±0.5%。

• 通信：EtherCAT（主流）/DeviceNet/ 模擬（0–5V/4–20mA）+RS485。

• 材質(zhì)：SUS316L 全金屬 + 金屬隔膜，超潔凈（拋光 Ra≤0.4μm），兼容Cl?、HF、NH?等腐蝕 / 高純氣體。

• 溫度：5–60℃，寬溫穩(wěn)定。

• 泄漏率：<0.1% FS，低死體積，吹掃快。

三、核心優(yōu)勢(shì)（對(duì)比傳統(tǒng)熱式、D500、UR?Z700 + 熱式）

1. 壓力不敏感，省去穩(wěn)壓閥：內(nèi)置壓力補(bǔ)償，無(wú)需 UR?Z700 或機(jī)械減壓閥，氣路簡(jiǎn)化、降成本、減泄漏點(diǎn)。

2. 熱式 + 補(bǔ)償，兼顧精度與成本：精度接近 D500 壓差式（±1% SP）

3. 小流量超精準(zhǔn)：0.5%–5% FS 達(dá) ±0.05% FS，優(yōu)于多數(shù)壓差式 MFC，適合ALD、微量摻雜。

4. 高速可調(diào)響應(yīng)：300ms–1s 軟件可調(diào)，適配 快速切換（刻蝕）/ 慢速穩(wěn)定（CVD）制程。

5. 超潔凈 + 低殘留：全金屬無(wú)彈性體，死體積小、吹掃快、殘留少，適配半導(dǎo)體高純 / 腐蝕氣體。

6. 多氣體 / 多量程：內(nèi)置100 + 氣體庫(kù)，現(xiàn)場(chǎng)切換氣體 / 量程，無(wú)需換硬件。

四、典型型號(hào)

• SEC?Z707S：主力型號(hào)，EtherCAT + 可調(diào)響應(yīng)，流量10–500 slm，半導(dǎo)體主流。

• SEC?Z705S：小流量版，0.1–10 slm，適合 ALD / 微量工藝。

• SEC?Z704S：DeviceNet 通信，老設(shè)備兼容。