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產品簡介
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,航空航天,綜合 |
微波等離子技術是用微波電磁場激發(fā)氣體電離,形成低溫,高密度等離子體的技術。
應用領域
u 半導體封裝:芯片焊盤清洗、引線框架處理
u 光學器件:透鏡、光纖表面清潔與活化
u 醫(yī)療植入物:手術器械、人工關節(jié)表面處理
u 汽車電子:傳感器、鍵合表面預處理
u 科研實驗:材料表面改性、納米涂層前處理
產品特點
u 智能交互界面:7寸彩色觸摸屏,中英文雙語操作,實時監(jiān)測與自動調節(jié)工藝參數,內置20組配方程序,支持工藝數據存儲與追溯。
u 可靠控制系統(tǒng):PLC全程控制,支持手動/自動雙模式,清洗過程穩(wěn)定可靠,重復性優(yōu)異。
u 雙向智能真空控制:支持氣體流量或腔體壓力兩種模式精準調控真空度,工藝調控靈活,適應多樣化精密處理需求。
u 精準氣體管理:標配雙質量流量計(MFC),支持氧氣、氬氣、氮氣、氫氣及混合氣體等多種氣源,控制精度高,工藝一致性優(yōu)。
u 潔凈防污設計:配備HEPA高效過濾器,氣體返填吹掃功能,避免交叉污染。
u 優(yōu)質材質結構:真空艙體采用316不銹鋼或石英材質,全真空管路為316不銹鋼,耐腐蝕、無污染。
u 人性化操作設計:符合人體工能學操作面板,上控制下艙體結構,節(jié)省空間。
u 高效穩(wěn)定工藝:處理快速均勻,重復性好,樣品處理溫度低,避免熱損傷與熱氧化。
u 周全安全保護:艙門開啟自動斷電,可控泄壓等多重防護機制,保障操作人員與樣品安全。
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