一、球面和非球面測(cè)量機(jī)介紹：

非接觸式表面輪廓測(cè)量?jī)x用于光學(xué)元件表面形狀和外形測(cè)量的非接觸式三維光學(xué)輪廓儀。它專為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱表面的超精密非接觸式3D形狀測(cè)量而設(shè)計(jì)，例如非球面、球面、平面和自由曲面光學(xué)透鏡。非接觸式三維光學(xué)輪廓儀可對(duì)高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰(zhàn)性的表面的半徑和不規(guī)則度進(jìn)行最高精度的非接觸式三維輪廓測(cè)量。對(duì)非球面和自由曲面進(jìn)行超高精度地快速輪廓測(cè)量，在高達(dá)90°的采樣斜率上精度優(yōu)于50nm (3σ) ?？蓽y(cè)量坡度高的表面、具有不同間距方向的表面、極小的表面例如手機(jī)鏡頭模具。

非接觸式3D表面精密檢測(cè)儀更適用于大口徑的精加工光學(xué)工件的檢測(cè)，用于對(duì)非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉(zhuǎn)對(duì)稱表面（光學(xué)器件）進(jìn)行超高精密非接觸式三維表面形狀測(cè)量。其優(yōu)點(diǎn)包括測(cè)量速度快，對(duì)一些特殊的表面形狀（如平頂或帶有拐點(diǎn)的輪廓）具有高度靈活性。

二、球面和非球面測(cè)量機(jī)優(yōu)勢(shì)：

1、非接觸測(cè)量、三維微納形貌一體測(cè)量

◆ 集成厚度測(cè)量模組和三維形貌、粗糙度測(cè)量模組，使用一臺(tái)機(jī)器便可完成面輪廓、粗糙度、波紋度及三維形貌的測(cè)量。

2、高精度測(cè)量技術(shù)

◆ 采用高分辨率0.05nm的多波長(zhǎng)白光干涉?zhèn)鞲衅?，可以完成超高精密的測(cè)量。

◆ 基于所采用的FDM3傳感器技術(shù)的絕對(duì)測(cè)量能力，該計(jì)量?jī)x器還可檢測(cè)非連續(xù)光學(xué)元件，例如分段表面、環(huán)形透鏡、非球面衍射透鏡以及軸錐透鏡。還可以擴(kuò)展模塊可測(cè)定透鏡厚度、楔形誤差及偏心誤差。其軟件還可用于（全自動(dòng)）分析光學(xué)表面相對(duì)于用戶定義參考表面的定位情況，例如透鏡周邊、任何透鏡卡口或模具筒體等。

3、操作簡(jiǎn)單、輕松無(wú)憂

◆集成XYZ三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測(cè)量前準(zhǔn)備工作。

◆具備雙重防撞設(shè)計(jì)，避免誤操作導(dǎo)致的物鏡與待測(cè)物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。

三、工作原理