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【高精度微流控芯片定制】——為科研與工業(yè)檢測(cè)提供精準(zhǔn)解決方案  

一、手板加工  

1.復(fù)雜結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)  

•堰式芯片：500μm通道加工誤差＜1.3μm（設(shè)計(jì)vs實(shí)測(cè)498.7μm）  

•集成芯片：80μm微柱陣列加工精度達(dá)±0.04μm  

•液滴芯片：1000μm深腔體加工誤差僅0.2μm  

2.特殊工藝突破  

•PDMS芯片：實(shí)現(xiàn)10μm多孔膜與150μm流道同步成型  

•四層鍵合：PMMA材料4層鍵合后通道尺寸損失≤5μm  

•異型接頭：0.3mm微通道與Φ1.8mm接頭一體化成型  

二、模具制造  

1.微納結(jié)構(gòu)復(fù)刻  

•V槽結(jié)構(gòu)：24°斜角加工誤差僅＜0.1°  

•波浪結(jié)構(gòu)：102μm圓弧半徑誤差僅≤0.78μm  

•四棱錐陣列：55μm腔室高度  

2.特殊材料加工  

•硅片模具：40μm深通道側(cè)壁角度控制132.7°±0.2°  

三、注塑量產(chǎn)  

1.高精度注塑  

•50μm微柱注塑收縮率＜0.12%  

•122°斜槽角度注塑偏差僅+0.1°  

2.復(fù)雜結(jié)構(gòu)量產(chǎn)  

•三通道異型結(jié)構(gòu)：60μm通道高度誤差僅＜0.5μm  

•階梯結(jié)構(gòu)：25μm臺(tái)階高度誤差僅±0.3μm  

四、技術(shù)亮點(diǎn)  

1.跨尺度加工：實(shí)現(xiàn)50μm~1.5mm結(jié)構(gòu)同步成型  

2.材料適應(yīng)性：覆蓋PDMS/PMMA/PC/硅片等材料  

3.量產(chǎn)一致性：微結(jié)構(gòu)批產(chǎn)尺寸波動(dòng)＜1%  

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