IS-120離子濺射儀

型號:IS-120
應(yīng)用范圍:
適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特點(diǎn):
? 操作簡便快捷,可預(yù)先設(shè)定濺射電流和時間。
? 采用高效低壓直流磁控濺射技術(shù),實(shí)現(xiàn)了對樣品表面進(jìn)行恒流冷態(tài)精細(xì)鍍膜,有效防止熱損傷效應(yīng)。
? 可實(shí)現(xiàn)一鍵式噴鍍操作。
產(chǎn)品性能:
? 微處理器控制,安全互鎖。
? 可選配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺,鍍膜更均勻。
? 空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng)。
? 可使用多種金屬靶材:Au,Pt,Ag,Cu,靶材更換快速方便。
? 配有氬氣接口,可接氬氣,壓力0.05MPa,氣管內(nèi)徑4mm。
技術(shù)參數(shù)表:
型號 | IS-120 |
樣品室大小 | 外徑120(內(nèi)徑106)mm ×高120mm |
樣品臺 | 直徑63mm,高度可調(diào)范圍為0-60mm, 旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(選配): 傾斜角度-45°至+45°連續(xù)可調(diào), 旋轉(zhuǎn)速度0至60rpm連續(xù)可調(diào), |
濺射頭 | 低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
濺射控制 | 微處理器控制,安全互鎖,電流5-40mA可調(diào) |
濺射時間 | 0-300秒 |
靶材 | Au,Pt,Ag,Cu等 大小:直徑54×0.1mm厚 |
控制方法 | 自動放氣功能 |
真空泵 | 雙級直連式旋片式真空泵 |
抽氣速率 | 4m3/h |
抽氣時間 | 30秒至0.1mbar(空載) |
重量 | 8kg |
工作氣體 | 高純氬氣,出氣壓力0.05MPa,氣管內(nèi)徑4mm |
外形尺寸 | 寬420×深300×高290(mm) |
電源要求 | 220V, 50Hz,600W |
售后服務(wù):
1. 我司售后服務(wù)地址: 山東省濟(jì)南市高新區(qū)舜華路街道漢峪光年3號樓
2. 在質(zhì)量保證期內(nèi),由于賣方的原因而出現(xiàn)故障,賣方應(yīng)在 2 小時內(nèi)對用戶的服務(wù)要求做出響應(yīng),一般問題在 12 小時或其它無法迅速解決的問題應(yīng)在 24 小時解決或提出明確的解決方案,自報(bào)修之日起在4日內(nèi)到達(dá)采購人現(xiàn)場,排除故障,免費(fèi)更換損壞零件;其費(fèi)用我司方承擔(dān)。
3. 在保修期內(nèi),我司將對該儀器免費(fèi)提供維修服務(wù),每季度定期回訪一次及對設(shè)備進(jìn)行維護(hù)指導(dǎo)。但以下原因造成的儀器維修,則不再保修服務(wù)范圍之內(nèi)。
a) 因不可抗力造成儀器損壞的;
b) 因不正確使用,自行改裝設(shè)備造成故障或損壞的;
c) 因非我司售后技術(shù)人員或指定人員維修造成故障和損壞的。
4. 對保修期外的儀器,我司將提供有償維修服務(wù),費(fèi)用由用戶承擔(dān);費(fèi)用包括所需更換的零部件費(fèi)用及維修人員的交通和勞務(wù)費(fèi)等,具體費(fèi)用依據(jù)實(shí)際故障情況而定。
5. 我司對此次投標(biāo)貨物承擔(dān) 1 年的免費(fèi)質(zhì)保期,并提供終身維護(hù)。
6. 我司對此次投標(biāo)貨物提供安裝調(diào)試、檢驗(yàn)、操作人員培訓(xùn)、定期維護(hù)保養(yǎng)指導(dǎo)及技術(shù)咨詢等一系列服務(wù)。
7. 我司設(shè)有專業(yè)維修部及充足的零配件庫,確保為用戶提供快速及時的維修服務(wù)。我們竭誠為您服務(wù)。
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