美國(guó)Entegris 在線氣體過濾器 鄭州
美國(guó)Entegris 在線氣體過濾器 鄭州
Wafergard® II SF Micro XL 在線氣體過濾器,Wafergard II SF Micro XL 在線氣體過濾器是全不銹鋼結(jié)構(gòu)的高純度氣體系統(tǒng)的過濾器。®
最進(jìn)的外殼組件通過最大限度地減少焊接面積來消除脫氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的接頭選擇提供了高的設(shè)計(jì)效率,并最大限度地降低了工程成本
Wafergard® II SF Micro XL 在線氣體過濾器應(yīng)用超高純氣體管線
高溫應(yīng)用 新晶圓廠建設(shè) 動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用 惰性和反應(yīng)性氣體
產(chǎn)品規(guī)格材料 濾芯 不銹鋼膜過濾器 住房 電解拋光VAR316L不銹鋼
下游清潔度 粒子 <0.03 個(gè)顆粒/升(<1 個(gè)顆粒/英尺3) >0.01 微米
揮發(fā) 物 <10 ppb 水分 去除等級(jí) ≥0.0015 微米
內(nèi)飾表面光潔度 ≤5.00 μin Ra 氦氣泄漏等級(jí) 合格 2 x 10-10 大氣壓 CC/秒
測(cè)試 1 x 10-9大氣壓 CC/秒 最大工作條件 最大入口壓力: 20 MPa (200 barg;2900 psig) @ 20°C (68°F)
最大正向/反向壓差: 1 MPa (10 bar;150 psid)
最高工作溫度: 460°C (860°F) @ 35 巴 (500 psi) 保證 2 年
顆粒截留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒 流量等級(jí) 請(qǐng)參閱性能數(shù)據(jù)
用戶評(píng)論
發(fā)布評(píng)論