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產品簡介
等離子處理系統(tǒng)產品參數
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
等離子處理系統(tǒng)詳細信息
產品簡介：VPS-RF05是一款小型桌面型真空等離子處理儀，其原理是在真空狀態(tài)下（約10~100pa），給氣體施加電場，氣體在電場提供的能量下會由氣態(tài)轉變?yōu)榈入x子體狀態(tài)（也稱物質的“第四態(tài)”），其中含有大量的電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子，比通常的化學反應所產生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反應。通過利用這些高能粒子和活性粒子與材料表面發(fā)生物理或化學的反應，從而達到改變材料表面性質的目的。
等離子處理系統(tǒng)特點：進口等離子電源電路技術、放電結構，確保等離子體均勻分布。
等離子處理系統(tǒng)應用：去除表面有機物、提高粘接性、提高表面潤濕性、提高生物相容性、提高表面能、改善表面粗糙度。
產品參數：
型號 | VPS-RF05 |
頻率 | 13.56MHz自動阻抗匹配 |
功率 | 0-200W連續(xù)可調 |
腔體材質 | 進口級316L不銹鋼 |
腔體容積 | 5L |
腔體尺寸 | Φ150（直徑）×280（D） |
有效處理面積 | 140（W）*250(D)mm |
氣體流量控制器 | MFC 質量流量控制器 |
氣路數量 | 2 路氣體，常用O2、Ar2、N2，H2、等（腐蝕性氣體需定制） |
真空測定系統(tǒng) | 皮拉尼真空硅管 |
極限真空度 | 1Pa |
控制方式 | 4.3寸觸摸屏+PLC |
真空泵 | 油泵/干泵（選配） |
電源供應 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H) |
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