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合肥重光電子科技有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事儀器設(shè)備的生產(chǎn)商。產(chǎn)品主要包括：高精度加熱板、涂膠顯影機(jī)、HMDS增粘劑涂膠機(jī)、等離子清洗去膠機(jī)、膜厚儀、光刻機(jī)等。
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光學(xué)反射膜厚儀詳細(xì)信息
測(cè)量系統(tǒng)規(guī)格
基本功能：獲取薄膜厚度值以及R、N/K等光譜
光譜分析范圍：380nm-1000nm
測(cè)量光斑大?。簶?biāo)準(zhǔn)1.5mm，最小0.5mm
膜厚重復(fù)性測(cè)量精度：0.02nm（100nm 硅基SiO2樣件，100次重復(fù)測(cè)量）
膜厚精度：0.2%或2nm之間較大者
膜厚測(cè)量范圍：15nm-70μm
測(cè)量n和k值厚度要求：100nm以上
單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間：≤ 1s
光源：標(biāo)準(zhǔn)鹵燈光源（光源壽命2000小時(shí)）
分析軟件：多達(dá)數(shù)百種的光學(xué)材料常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)，并支持用戶自定義光學(xué)材料庫(kù)；提供多層各向同性光學(xué)薄膜建模仿真與分析功能
樣品臺(tái)規(guī)格：
基板尺寸：支持樣件尺寸到150*150mm(可升級(jí)定制不同尺寸樣品臺(tái))
測(cè)控與分析軟件
光譜測(cè)量能力：反射率光譜測(cè)量
數(shù)據(jù)分析能力：膜厚分析能力，光學(xué)常數(shù)（折射率和消光系數(shù)）
支持常用光學(xué)常數(shù)模型以及常用振子模型（柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等）；
支持用戶自定義，可離線分析軟件模擬實(shí)際測(cè)量，支持Windows 10操作系統(tǒng)
附件：校準(zhǔn)樣品*1、臺(tái)式電腦*1、軟件一套。
其它：可免費(fèi)提供樣品測(cè)試，更多需求可聯(lián)系咨詢。
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