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移動端訪問更便捷日本ORC株式會社創(chuàng)立于1968年(昭和43年)2月15日。主要生產高精密電路模式“DiIMPACTExtra18”,手動模式,直接接觸設備“DiIMPACTMms60”曝光裝置,UV計測器,紫外線各種光源,光電應用裝置
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產品簡介
| 價格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 應用領域 | 能源,電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,綜合 |
全新ORC歐阿希 VUM-3500半導體用UV照射設備
全新ORC歐阿希 VUM-3500半導體用UV照射設備
它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產現(xiàn)場配備紫外線燈的設備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。
這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設備的照度和光量。可以輕松測量紫外線照度和光強度。根據您正在使用(或計劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數據可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產現(xiàn)場配備紫外線燈的設備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。
采用254nm波長, 去除電荷。
單波長允許低溫處理。
用低入射角紫外線有效照射目標區(qū)域。
提高了LSI的成品率和可靠性。
閃存、其他非易失性存儲器、圖像傳感器等的電荷去除和數據擦除。
這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設備的照度和光量。可以輕松測量紫外線照度和光強度。根據您正在使用(或計劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數據可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。
| 模型 | VUM-3500 |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | Φ300毫米(標準) |
| 同時處理數 | 15 件 |
| 盒式磁帶格式 | 晶圓傳送盒 |
| 晶圓運輸 | 自動輸送 |
| 燈數量 | 20 件 |
| 照度測量 | 自動測量 |
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