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HX8N0系列全自動(dòng)探針臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子/電池,電氣 |
| 自動(dòng)化度 | 全自動(dòng) |
HX8N0系列全自動(dòng)探針臺(tái)詳細(xì)信息
HX8N0系列全自動(dòng)探針臺(tái)
HX8N0系列全自動(dòng)探針臺(tái)設(shè)備專業(yè)應(yīng)對(duì)8寸的晶圓級(jí)各類器件的性能測(cè)試，可針對(duì)不同晶圓測(cè)試，可配備相應(yīng)的儀器儀表，進(jìn)行I-V、C-V、光信號(hào)等特性分析，設(shè)備功能豐富，可匹配多種測(cè)試應(yīng)用環(huán)境，可升級(jí)大功率晶圓測(cè)試、射頻測(cè)試、全自動(dòng)測(cè)試并可加載溫控系統(tǒng)，滿足客戶在高低溫環(huán)境下的各種晶圓器件性能測(cè)試需求。
HX8N0系列全自動(dòng)探針臺(tái)產(chǎn)品概述
HX8N0系列全自動(dòng)探針臺(tái)設(shè)備專業(yè)應(yīng)對(duì)8寸的晶圓級(jí)各類器件的性能測(cè)試，可針對(duì)不同晶圓測(cè)試，可配備相應(yīng)的儀器儀表，進(jìn)行I-V、C-V、光信號(hào)等特性分析，設(shè)備功能豐富，可匹配多種測(cè)試應(yīng)用環(huán)境，可升級(jí)大功率晶圓測(cè)試、射頻測(cè)試、全自動(dòng)測(cè)試并可加載溫控系統(tǒng)，滿足客戶在高低溫環(huán)境下的各種晶圓器件性能測(cè)試需求。
產(chǎn)品特點(diǎn)
• 節(jié)省空間；
• 全閉環(huán)直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制；
• 高精度和測(cè)試速度，大大提高測(cè)試效率；
• 滿足高壓大電流測(cè)試；
• 可升級(jí)自動(dòng)wafer厚度測(cè)量和ID讀卡。
軟件功能介紹
• 可測(cè)試圓片，測(cè)試范圍可選，支持隔行抽測(cè)和環(huán)形測(cè)試，MAP圖可以編輯測(cè)試；
• 支持壞點(diǎn)重測(cè)；
• 具備離線打點(diǎn)、同步打點(diǎn)功能；
• 具備接觸緩沖功能，針痕穩(wěn)定；
• 運(yùn)行反饋功能，保證測(cè)試的穩(wěn)定性；
• 測(cè)試良率、總數(shù)、速度顯示；
• CCD圖像自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位；
• CCD自動(dòng)對(duì)針功能；
• 具有自動(dòng)清針和磨針功能；
• 具備一定的抗干擾能力；
• 多BIN分類測(cè)試，測(cè)試數(shù)據(jù)可以存儲(chǔ)，可以導(dǎo)出，兼容后道設(shè)備格式使用，具有數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析功能；
• 操作員，管理員，系統(tǒng)廠家權(quán)限管理功能；
• 支持TTL、232、GPIB等通用協(xié)議。
HX8N0系列全自動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)
參數(shù)和指標(biāo)：
| 性能名稱 | 技術(shù)指標(biāo) |
| 可測(cè)試晶圓尺寸 | 8寸 |
| 工作臺(tái)行程 | 220mm×220mm |
| 控制精度 | ≤0.001mm |
| 全程精度 | ≤±0.02mm/200mm |
| Z向行程 | 15mm（可調(diào)） |
| θ向可調(diào)范圍 | ±15° |
| 轉(zhuǎn)載晶舟 | 標(biāo)準(zhǔn)晶舟 |
| 真空度 | ＞-0.08MP |
| 電源 | AC220V 50Hz,1KW |
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