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在過(guò)去27年中，Ionoptika已證明自己是高性能離子束技術(shù)的供應(yīng)商。從開發(fā)第一個(gè)碳富勒烯（C60）離子源（被廣泛認(rèn)為是一種優(yōu)秀的分析濺射工具）到開發(fā)第一個(gè)用于二次離子質(zhì)譜（SIMS）的金團(tuán)簇離子源，我們一直是該領(lǐng)域的先驅(qū)。
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C60-40 離子源系統(tǒng)產(chǎn)品參數(shù)
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 |
C60-40 離子源系統(tǒng)詳細(xì)信息
簡(jiǎn)介：
C60-40 離子源系統(tǒng) 是目前性能較高的C60光束，具有300納米的光斑尺寸和高達(dá)1毫安的束流。
從生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用到聚合物科學(xué)和冶金，C60-40都可以做到這 一點(diǎn)。得益于與其他C60離子束相同的均勻?yàn)R射，但由于更高 的束能量，C60-40具有難以置信的精細(xì)斑點(diǎn)和更高的蝕刻率，是一種用于廣泛應(yīng)用的極其*的分析工具。
C60-40 離子源系統(tǒng) 是一款出色的全能型產(chǎn)品，Ionoptika銷售的每臺(tái)J105SIMS儀器中都包含C60-40。
主要參數(shù)：
| 主要應(yīng)用 | 分析 |
| 光斑尺寸 | 300 µm |
| 掃描范圍 | 1 x 1 mm |
| 能耗范圍 | 10 – 40 kV |
| 電流范圍 | 1 nA |
| 法蘭至機(jī)頭長(zhǎng)度 | 168 ± 5 mm |
| 推薦工作距離 | 22 ± 2 mm |
| 電源裝置 | 6U x 19’’ rack mountable unit |
| 電源要求 | 110-240VAC 13A 50/60Hz |
| 軟件要求 | PC running Windows 10 or later |
| 集成法蘭規(guī)格 | NW 63 CF |
特點(diǎn):
◇ 用于 SIMS 分析的出色的全部方位離子束；
◇ 小光斑尺寸可達(dá) 300 nm；
◇ 電流高達(dá) 1 nA；
◇ Wien濾波器，用于在直流和脈沖操作過(guò)程中進(jìn)行質(zhì)量濾波；
◇ 提供快速脈沖、脈沖串、光柵和二次電子檢測(cè)功能；
◇ 閘閥，便于快速維修
應(yīng)用技術(shù)：
下圖顯示了C60-40在正離子模式下獲得的半導(dǎo)體堆棧的3D SIMS圖像。樣品由InSb、Al和GaAs層組成，覆蓋在保護(hù)性光刻膠層中。
這種軟有機(jī)、無(wú)機(jī)和硬金屬層的結(jié)合對(duì)于大多數(shù)其他離子束來(lái)說(shuō)是極其困難的。C60-40是這一棘手應(yīng)用的理想選擇，因 為它在不同材料上具有一致的濺射速率。C60-40與300 nm的光斑尺寸相結(jié)合，是一種*的光束，無(wú)論您使用何種類型的樣品，都能在2D和3D中提供較高分辨率。
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