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致力于提供表面性能處理以及檢測(cè)整體解決方案，集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的國家高新技術(shù)企業(yè)。核心產(chǎn)品系列有接觸角測(cè)量儀、等離子清洗機(jī)、USC千式超聲波除塵清洗機(jī)、離子靜電消除裝置、接觸角精密噴射系統(tǒng)等表面性能處理及檢測(cè)儀器設(shè)備。
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全自動(dòng)雙腔半導(dǎo)體退火爐詳細(xì)信息
快速退火爐是利用鹵素紅外燈作為熱源，通過極快的升溫速率，將材料在極短的時(shí)間內(nèi)從室溫加熱到300℃-1250℃，從而消除材料內(nèi)部的一些缺陷，改善產(chǎn)品性能。
全自動(dòng)雙腔半導(dǎo)體退火爐，RTP-DTS-8是一款全自動(dòng)雙腔快速退火設(shè)備，可兼容6-8英寸晶圓Wafer。
全自動(dòng)雙腔半導(dǎo)體退火爐產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
全自動(dòng)雙腔設(shè)計(jì)，有效提升產(chǎn)能；
溫度可達(dá)1250℃，具有超高溫場(chǎng)均勻性；
具備穩(wěn)定的溫度重現(xiàn)性；
能夠滿足SIC量產(chǎn)化制程需求。
晟鼎是一家集研發(fā)與設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的企業(yè)。致力于提供表面性能處理及檢測(cè)整體解決方案。
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