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內(nèi)容聲明：
您訪問的勻膠旋涂儀產(chǎn)品信息，由深圳市錫成科學儀器有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關于勻膠旋涂儀型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
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產(chǎn)品簡介
勻膠旋涂儀產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
勻膠旋涂儀詳細信息
勻膠旋涂儀WS-650在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上，旋轉(zhuǎn)速度及時間、膠液和基片間的粘滯系數(shù)都會影響成膜厚度，旋轉(zhuǎn)過程及轉(zhuǎn)動系統(tǒng)的穩(wěn)定性對成膜質(zhì)量也有較大影響。
1.樣品尺寸：φ3~300mm
2.加速度：80000rpm/s（空載），30000rpm/s（負載：100mm標準晶圓）
3.轉(zhuǎn)速：1~12000rpm，伺服電機分辨率4000P/rev
4.旋轉(zhuǎn)方向：選配Hz型馬達，旋轉(zhuǎn)方向雙向可調(diào)
5.CDA/N2氣流保護技術
6.可選自動滴膠模塊，EBR晶圓去邊模塊
7.多種托盤可選，適用各種材質(zhì)的樣品
勻膠旋涂儀托盤解決方案
1.常用真空托盤：10~150mm無需更換。
2.嵌入式：托盤中部做成圓形凹槽，樣品可嵌入其中，以避免樣品厚度過大引起氣體渦流效應。
3.蜂窩式：適用于超薄易變形軟質(zhì)材料和易碎材料。
4.卡式托盤：適用于無法真空吸附的樣品，或者兩面都需要處理的樣品，因為固定時需要盡量減小與托盤的接觸面積，也可以使用卡式托盤，卡式托盤使用時轉(zhuǎn)速不宜過高。
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