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Park原子力顯微鏡公司（ParkSystems）成立于1988年，是推出商業(yè)原子力顯微鏡產(chǎn)品的上市公司。Park成立30多年來，始終致力于納米領(lǐng)域的形貌和力學(xué)測(cè)量，以及半導(dǎo)體先進(jìn)制程工藝新技術(shù)新產(chǎn)品的開發(fā)，并將“助力科學(xué)家和工程師解決世界緊迫的問題”作為自己的科學(xué)使命。
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Park NX20 300mm原子力顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),建材/家具,電子/電池,制藥/生物制藥 |
Park NX20 300mm原子力顯微鏡詳細(xì)信息
Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業(yè)界創(chuàng)新型大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機(jī)動(dòng)化。新升級(jí)的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)，可有效地檢測(cè)整個(gè)300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動(dòng)XY工作臺(tái)，但Park的創(chuàng)新性振動(dòng)隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (?) RMS，通常是0.3 ? RMS的水平。
可用于 300mm晶片圓測(cè)量和分析的自動(dòng)化納米測(cè)量工具
·支持200mmx200mm或300mmx300mm的全自動(dòng)原子力顯微鏡
·無需手動(dòng)移動(dòng)樣品即可實(shí)現(xiàn)樣品上每個(gè)點(diǎn)的精密測(cè)量
·Park NX20300 mm是專為失效分析和質(zhì)量品控設(shè)計(jì)
·工業(yè)測(cè)試軟件可以實(shí)現(xiàn)樣品的全自動(dòng)化批量測(cè)量，使得NX20檢測(cè)過程變得高效易用
專為大樣品晶圓檢測(cè)而建
NX20 300 mm進(jìn)行了全新設(shè)計(jì)，可達(dá)到大樣品的高精度測(cè)量。整個(gè)300mm晶圓區(qū)域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測(cè)量分析。這開啟了一個(gè)全新的自動(dòng)化測(cè)量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡(jiǎn)便、更精準(zhǔn)地開展工作。
靈活的300mm樣品吸盤
Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓，讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品。
300mm XY軸工作臺(tái)
機(jī)動(dòng)化的300mm XY軸工作臺(tái)允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動(dòng)原子力顯微鏡的測(cè)量位置。
針對(duì)廣泛應(yīng)用性進(jìn)行優(yōu)化
Park NX20 300mm原子力顯微鏡為眾多應(yīng)用提供自動(dòng)格式的原子力顯微鏡測(cè)量，為納米級(jí)的樣品提供精準(zhǔn)測(cè)量和分析。具有粗糙度、高度和深度測(cè)量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測(cè)大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇。
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