化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
ThetaMetrisis是一家私有公司，成立于2008年12月，位于希臘雅典，是NCSR'Demokritos'的微電子研究所的第1家衍生公司。ThetaMetrisis的核心技術是白光反射光譜（WLRS），它可以在幾埃到幾毫米的超寬范圍內，準確而同時地測量堆疊的薄膜和厚膜的厚度和折射率。
查看更多產品簡介
FR-Ultra 晶圓厚度測量系統(tǒng)詳細信息
FR-Ultra: 晶圓厚度測量系統(tǒng)
FR-Ultra是一種緊湊型設備，專門用于快速、準確和無損測量半導體材料的厚/超厚層及透明層。
FR-Ultra是用于精確測量由半導體和（或）介電材料制成的厚層和超厚層的專用工具。由于其先進的光學性能，FR-Ultra可用于測量不同平滑度的薄膜和非常厚的襯底。
典型應用包括:
厚玻璃的厚度測量(在清晰度不同的情況下最大厚度可達2mm)； 晶圓片的厚度測量(如單面或雙面拋光晶圓，最大直徑可達12 英寸)。
FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標系和極坐標結合，用于大面積的厚度測量。
硅片厚度圖(12英寸硅片)
測量原理
白光反射光譜（WLRS）測量在一定光譜范圍內從單或多層薄膜堆疊結構的 反射光，其中入射光垂直于樣品表面。藉由測量各個界面干涉產生的反射光 譜來計算單層/疊層薄膜的厚度、光學常數（n 和k）等。並支持透明或部分反射基材等。
*規(guī)格如有更改，恕不另行通知;
**100μm DSP硅片的測量值對應于測量厚度值在精度范圍內的標準(0.4%)；
***500μm DSP硅片的測量值對應于測量厚度值在精度范圍內的標準(0.4%)
關聯(lián)品牌
留言咨詢
內容聲明：
您訪問的FR-Ultra 晶圓厚度測量系統(tǒng)產品信息，由岱美儀器技術服務（上海）有限公司自行發(fā)布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于FR-Ultra 晶圓厚度測量系統(tǒng)型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布會員負責，為保障安全，建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量！
相關分類
Categories
該廠商其他產品
Other Products
采購中心
用戶評論
發(fā)布評論