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液氮高低溫半自動真空探針臺 PSM-LN2-6A產(chǎn)品參數(shù)
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,電氣 |
| 自動化度 | 半自動 |
液氮高低溫半自動真空探針臺 PSM-LN2-6A詳細(xì)信息
液氮高低溫半自動真空探針臺 PSM-LN2-6A
PSM-LN2-6A是一款專為微納電子器件與材料研發(fā)設(shè)計的6英寸半自動液氮高低溫探針臺。它能夠在80K至500K的寬溫區(qū)內(nèi)，提供穩(wěn)定的高真空測試環(huán)境，實現(xiàn)對半導(dǎo)體芯片、集成電路、新材料（如二維材料、化合物半導(dǎo)體等）在低溫條件下的精準(zhǔn)電學(xué)性能測試。
液氮高低溫半自動真空探針臺 PSM-LN2-6A產(chǎn)品概述
核心優(yōu)勢
• 寬溫區(qū)與快速降溫：采用高效液氮制冷系統(tǒng)，僅需消耗1L液氮即可快速降至最溫度80K，降溫迅速，使用經(jīng)濟(jì)；
• 高真空性能：真空腔體可達(dá)到10-5Torr量級的高真空度，有效隔絕外界干擾，確保測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性；
• 半自動精準(zhǔn)操控：樣品臺支持手動與半自動結(jié)合的移動控制方式（XYZ電動定位精度≤3 μm），簡化扎針流程，提升測試效率與操作體驗；
• 卓的測試精度：探針臂采用三同軸接頭，在80K-500K全溫區(qū)內(nèi)實測漏電流低于50fA，滿足高精度、低漏電的嚴(yán)苛測試需求。
產(chǎn)品特點
• 精密光學(xué)觀測系統(tǒng)：配備無級變倍光學(xué)系統(tǒng)，系統(tǒng)總放大倍數(shù)不低于180X，分辨率不低于2微米，可實現(xiàn)納米級器件的清晰觀測與精準(zhǔn)定位；
• 探針臂三維可調(diào)節(jié)：探針臂支持X-Y-Z三維手動精密調(diào)節(jié)，行程：12mm×12mm×12mm；
• 智能溫控與節(jié)能：具備溫度與流量自動控制系統(tǒng)，可根據(jù)實驗需求自動調(diào)節(jié)液氮流速，兼顧控溫精度與制冷劑消耗；
• 穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計：鋁制真空腔體有效減小電磁干擾；測試臂與腔體熱耦合設(shè)計，確保腔內(nèi)優(yōu)異的等溫性。
液氮高低溫半自動真空探針臺 PSM-LN2-6A技術(shù)參數(shù)
一、核心規(guī)格
樣品臺尺寸：≥ 6英寸
樣品臺材質(zhì)：無氧銅鍍金
樣品臺表面平整度： ≤20 μm
樣品固定方式： 真空吸附，可固定整片與局部晶圓
控制方式： 手動及半自動系統(tǒng)結(jié)合
二、 溫控系統(tǒng)
制冷方式： 液氮
控溫范圍： 80K ~ 500K
溫度穩(wěn)定性： ±0.2K
控溫分辨率： ≤ 0.01K
控制特性： 自增壓，流速自動調(diào)節(jié)
三、真空系統(tǒng)
鋁制O圈密封真空腔體
極限真空度： ≤ 10-5Torr
四、 運(yùn)動與定位
樣品臺行程：
XY： ≥ 150mm (電動)、Z： ≥ 10mm (電動)、Q (旋轉(zhuǎn))： ≥ ±5° (電動)
定位精度：
XYZ： ≤ 3 μm (電動)、Q (旋轉(zhuǎn))： ≤ ±0.001° (電動)
五、 探針系統(tǒng)
探針臂數(shù)量： 4個
探針臂類型： 三維位移探針座，兼容高低溫
探針臂接口： 三同軸接口
系統(tǒng)漏電流： ≤ 50fA
移動行程： X, Y, Z 各軸 ≥ 12mm
移動分辨率： ≤ 2 μm
六、 光學(xué)觀測系統(tǒng)
顯微鏡類型： XYZ 可編程電動顯微鏡
顯微鏡放大倍率： 10X - 180X
分辨率： ≤ 2 μm
相機(jī)： ≥ 300萬像素，帶HDMI輸出
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