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孚光精儀是中國(guó)規(guī)模型進(jìn)口光學(xué)精密儀器供應(yīng)商,是全球光電子儀器和基于光子技術(shù)精密儀器的規(guī)模性進(jìn)口商和代理商，主營(yíng)飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡等
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晶圓翹曲度測(cè)量?jī)x詳細(xì)信息
這款多功能晶圓翹曲度測(cè)量?jī)x是為晶圓生產(chǎn)線(xiàn)上自動(dòng)晶圓翹曲度測(cè)量設(shè)計(jì)的大型自動(dòng)晶圓測(cè)量?jī)x器,具有晶圓厚度測(cè)量,晶圓翹曲度測(cè)量,晶圓BOW/WARP測(cè)量,晶圓waveiness不平度,波紋度測(cè)量,晶圓粗糙度測(cè)量等功能,適合晶圓納米表面形貌測(cè)量。
這款多功能晶圓翹曲度測(cè)量?jī)x僅僅適合工藝級(jí)生產(chǎn)線(xiàn)上自動(dòng)檢測(cè)晶圓性能。不適合獨(dú)立的手動(dòng)操作。
多功能晶圓翹曲度測(cè)量?jī)x特別適合在生產(chǎn)過(guò)程中晶圓蝕刻檢測(cè)。它可以被整合到蝕刻系統(tǒng)內(nèi),由機(jī)器人或自動(dòng)處理系統(tǒng)加載?？蓽y(cè)量如下指標(biāo)
晶圓厚度,
晶圓TTV總厚度變化
晶圓翹曲和彎曲度
晶圓波紋度
多功能晶圓翹曲度測(cè)量?jī)x規(guī)格參數(shù)
晶圓直徑：300+/-0.5mm
晶圓厚度范圍：680-870um
Warp (LSR)精度Accuracy: +/-3um
Warp (LSR)重復(fù)精度Precision: 1um
厚度精度Accuracy: +/-0.3um
厚度重復(fù)精度Precision: 0.1um
TTV厚度精度Accuracy: +/-0.2um
TTV厚度重復(fù)精度Precision: 0.1um
波紋度精度Accuracy: +/-1um
波紋度重復(fù)精度Precision: 0.3um
相關(guān)資質(zhì)
編號(hào)：91310115MA1K3L3E4N
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