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Park原子力顯微鏡公司（ParkSystems）成立于1988年，是推出商業(yè)原子力顯微鏡產(chǎn)品的上市公司。Park成立30多年來，始終致力于納米領(lǐng)域的形貌和力學(xué)測量，以及半導(dǎo)體先進制程工藝新技術(shù)新產(chǎn)品的開發(fā)，并將“助力科學(xué)家和工程師解決世界緊迫的問題”作為自己的科學(xué)使命。
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Park NX-TSH自動化原子力顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
Park NX-TSH自動化原子力顯微鏡詳細信息
Park NX-TSH自動化原子力顯微鏡隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加，自動化原子力顯微鏡Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結(jié)合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰(zhàn)。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量，臺階高度測量和關(guān)鍵尺寸測量。
專為超大納米平板顯示器測量而設(shè)計的自動化原子力顯微鏡（AFM）系統(tǒng)
隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加，Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結(jié)合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰(zhàn)。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量，臺階高度測量和關(guān)鍵尺寸測量。
為OLED面板行業(yè)整片測量，超高尺寸鏡片測量，提供全自動的原子力顯微鏡計量解決方案。
專為OLED面板行業(yè)整片測量，LCD測量提供的全自動探針掃描器解決方案
專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計
Park原子力顯微鏡公司已經(jīng)擴展了原子力顯微鏡設(shè)備的測量尺寸，Park NX-TSH（龍門架設(shè)計平板式探針掃描器）可針對第八代及大于第八代的所有大型平板顯示器進行測量。專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計，*大樣品尺寸可以測2200 mm。
硅片直徑的變化
使用導(dǎo)電原子力顯微鏡，Park NX-TSH 使用可選探針站測量樣品表面，該探針站接觸樣品表面并向小設(shè)備或晶圓片上的設(shè)備提供電流。Park NX-TSH用于帶有導(dǎo)電原子力顯微鏡的2D編碼器樣品，通過集成微探針站進行電氣缺陷分析。
Park NX-TSH特點
克服了樣品大小和重量的限制。
Park NX-TSH自動化原子力顯微鏡公司新開發(fā)的探針掃描器結(jié)合了X、Y和Z掃描器，可以直接移動到所需測量的點。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向掃描探針頭，X- Y方向可達到100µm X 100 μm和Z方向可達到15 μm ，并有靈活的卡盤，以適應(yīng)超過300毫米的超大超重樣品，用于OLED和LCD大樣品分析。 樣品固定在樣品卡盤上，連接在機架上的探針掃描頭移動到樣品表面的測量位置。 Park NX-TSH的探針掃描頭系統(tǒng)因此克服了樣品固定在樣品卡盤上時候樣品大小和重量的限制。
專為*新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計，*大樣品尺寸可以測到2200 mm.
Park NX-TSH自動化原子力顯微鏡通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結(jié)合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰(zhàn)，可掃描出高分辨率圖像。
具有閉環(huán)雙伺服系統(tǒng)的100μmx 100μm柔性導(dǎo)向XY掃描器
XY掃描器由對稱的二維撓曲和高強度壓電疊層組成，它*小化的面外運動能提供高度的正交掃描，用*快的響應(yīng)來完成納米尺度上精確樣品掃描。XY 掃描器的每個方向是都裝有兩個對稱的低噪聲位置傳感器，在*大的掃描范圍及大樣品掃描時能發(fā)揮高效的正交性。
具有低噪聲位置傳感器的15μm高速Z掃描器
NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測器代替了通常使用的非線性Z電壓信號，可為用戶提供高精度測量。低噪聲Z檢測器取代了所施加的Z電壓作為形貌信號。 標準Z掃描器由高強度壓電堆驅(qū)動，并由撓曲結(jié)構(gòu)引導(dǎo)，具有高共振頻率，可以實現(xiàn)更準確的反饋。使用可選的長距離Z掃描儀，*大Z掃描范圍可從15μm擴展到40μm。
自動測量控制，簡易操作測量更精準！
NX-TSH配備自動化軟件，使用測量程序便可獲得精確的多點分析，并對懸臂梁調(diào)諧、掃描速率、增益和設(shè)定點參數(shù)進行優(yōu)化設(shè)置。
Park人性化設(shè)計的軟件可使用戶自由訪問NX-TSH的全部功能并獲得所需的測量值。
創(chuàng)建新的測量程序其實很簡單，從開始創(chuàng)建到能夠自動化運行只需大約10分鐘的時間，而對創(chuàng)建過的程序進行修改的話也只需不到5分鐘。
Park NX-TSH的全自動特征:
• 自動，半自動，手動模式三種模式隨時切換控制
• 提供自動化程序的編輯方法
• 實時監(jiān)控測量過程
• 自動分析所獲得的測量數(shù)據(jù)
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您訪問的Park NX-TSH自動化原子力顯微鏡產(chǎn)品信息，由上海西努光學(xué)科技有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關(guān)于Park NX-TSH自動化原子力顯微鏡型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
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